机床激光干涉仪是集光、机、电、传感技术、信息技术于一体的经典“测控技术”仪器，是迄今*的高精度、高灵敏度的测量仪器，可以直接对米进行定义，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量，以及进行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等动态测量，广泛应用于先进制造、科研院所、精密测量等领域。

　　本产品旋转轴精度测量系统包含激光头，角度干涉镜和角度反射镜，与平移轴倾斜误差测量类似，只不过旋转轴的角度反射镜是安装在转台组件上，该组件可以绕中心自身旋转。

　　因此，在测量时，待测的旋转轴向正方向旋转某一个角度后，转台组件会沿着其逆方向精确地旋转该角度，例如待测轴沿正方向旋转15°，由于误差的存在，则可能旋转（15+Δ）°；此时，转台组件会沿着逆方向精确旋转，即沿负方向精确旋转15°，这样就使得角度干涉镜可以保持正对着激光头。而误差Δ就是旋转轴的定位误差。

　　机床激光干涉仪的优势特点都有哪些呢？

　　1.测量精度高、速度快，稳定性好

　?、偈褂妹拦咝阅芎つ始す馄?，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

　　②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

　　③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

　?、芘浜嫌谢肪巢钩サピ诨肪潮浠那榭鱿?，也可以得到较高的测量精度

　　⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

　　2. 应用范围广

　?、倏梢允迪窒咝?、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

　?、诮岷衔颐堑娜砑低?，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

　?、?strong>机床激光干涉仪可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

　　3.软件界面友好

　?、偈褂玫鼻叭让诺娜砑缑婵⒐ぞ?，软件界面人性化，操作简单。

　　②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

　?、巯虻际讲僮?，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。