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PLR3000多轴测量光纤激光尺基于激光干涉测量原理，分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域，提供精准、可靠的位置反馈与控制。

GTS空间位置坐标激光跟踪仪兼顾15μm+6μm/m空间精度与30-80米测量半径，轻松覆盖大型、超大型工件全维度测量需求。

GTS系列机器人位姿准确度激光跟踪测量仪是同时具高精度（μm级）、大工作空间（百米级）的高性能光电测量仪器。可以和多种形式的合作目标测头配合使用，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。

PLR3000非接触高精度测量光纤激光尺用于对精度要求苛刻、环境复杂的场景。比传统光栅精度高10倍，分辨率达原子层级（10nm=100个原子直径?。? PLR3000 系列光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证：用差分干涉（DI）探头对高精度纳米位移台进行闭环控制，在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。

中图仪器GTS系列0.5μm干涉测距精度激光跟踪仪可以和多种形式的合作目标测头配合使用，能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题，广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中。

PLR3000纳米级精度激光尺测量仪是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。