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SuperViewW纳米级白光3d表面轮廓检测仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

NS系列材料台阶高度测量仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

中图台式扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析，标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求，实现微观的形貌和元素分析等。

SuperViewW系列白光干涉仪三维表面测量系统以白光干涉技术为原理结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

VT6000国产共聚焦3D材料测量显微镜以共聚焦技术为原理，在相同物镜放大的条件下，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高，能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

NS系列纳米级2D台阶高度测量仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。