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NS200接触探针式微纳米测量台阶仪采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点。它利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。

VT6000共聚焦三维光学轮廓显微镜是基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析。

SuperViewW白光干涉3D材料表面轮廓仪采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，真实还原样品的每一个细节?？梢酝ü亟ê蟮难繁砻?D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。

VT6000三维形貌共聚焦材料测量显微镜单区域、多区域、拼接、自动测量等多种测量模式可选择，适应多种现场应用环境；Z轴上装有防撞机械电子传感器、软件ZSTOP防撞保护功能，双重?；?。

NS系列探针式高重复性台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

SuperViewW白光干涉微观三维形貌测量仪测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。