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在材料生产检测领域中，共聚焦工具显微镜测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

中图仪器SuperViewW1白光光学干涉仪品牌采用了扫描?？楹湍诓靠拐裆杓?，可实现高测量精度重复性和高粗糙度RMS重复性。采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高.

中图仪器VT6000共聚焦3D显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。主要采用3D捕获的成像技术，它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像，具有很强的纵向深度的分辨能力。所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜，擅长微纳级粗糙轮廓的检测。

NS系列微观表面台阶显微检测仪是利用光学干涉原理，通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度，500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量?？梢越秸氲男蚊餐枷翊涞娇刂频缒陨希沟貌饬扛又惫?。

SuperViewW1白光干涉仪半导体测量仪器具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

共焦显微镜系统所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。VT6000共聚焦光学测量显微镜技术以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，在相同物镜放大的条件下，所展示的图像形态细节更清晰更微细，横向分辨率更高。