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VT6000系列3d成像激光共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理，所展现的放大图像细节要高于常规的光学显微镜。使用的探测元件是高灵敏度的光电倍增管，对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度，并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

VT6000材料生产用共聚焦显微镜在材料生产领域中，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内准确量测物体的三维数据。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

中图仪器VT6000系列共聚焦激光扫描显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，仪器测量精度高；仪器的隔震设计能够消减底面振动噪声，在大部分的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。

中图仪器3d白光光学干涉仪SuperViewW1双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

VT6000系列共聚焦扫描显微镜以共聚焦技术为原理，对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1白光干涉仪三维显微镜以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。