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SJ6000激光干涉仪检测设备可以检测线性、角度、直线度、垂直度等几何量,可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。
SJ6000系列激光干涉仪可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能??梢约觳馐鼗病⑷瓴饬炕染茉硕璞冈硕脊斓南咝远ㄎ痪?、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。
回转轴测量需借助WR50自动精密转台,与SJ6000角度测量配合使用。将WR50连接到回转轴上,作为测角标准器,WR50可实现0~360°的角度测量范围,±1″的测量精度,转速为10rpm。
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