中图仪器纳米形貌观测扫描电镜用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。紧凑的外型,能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花。
中图仪器CEM3000高性能复合抗振系统扫描电镜采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统,能满足用户对多类型样品的观测需求,实现微观的形貌和元素分析等。
NS系列台阶高微观形貌参数测量仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
CEM3000系列桌面式扫描电镜品牌采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
中图仪器一键快速成像扫描电子显微镜采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
中图仪器国产扫描电子显微镜SEM可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中,该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术,展现出色的性能。
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