NS系列表面轮廓薄膜厚度台阶测量仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
中图仪器CEM3000钨灯丝扫描显微电镜凭借其简便的操作系统,让复杂的扫描电镜使用过程变得简单快捷。在工业领域展现出广泛的应用价值,标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统,能满足用户对多类型样品的观测需求,实现微观的形貌和元素分析等。
中图仪器SuperViewW粗糙度白光干涉轮廓仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。
中图仪器扫描电镜SEM电子显微镜紧凑的外型,能够不受场地尺寸制约,真正做到了空间适用性,用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求,轻松移机,一台机器多处开花。
中图仪器国产扫描电镜厂家采用的钨灯丝电子枪,发射电流大、稳定性好,以及对真空度要求不高。台式电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统,这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上,在用户手边实时呈现所得结果。
NS系列探针式台阶高度测量仪通过2μm金刚石探针与LVDC传感器的协同工作,结合亚埃级分辨率(5 Å)与智能化分析软件,可精准测量台阶高度(纳米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等参数)、膜层厚度及应力分布,为材料研发、工艺优化与质量管控提供可靠数据支持。
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