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SuperViewW1粗糙度光学轮廓仪的载物台尺寸为320*200mm（可定制），行程为140*110mm（可定制）；测量的Z向范围可达10mm（2.5X镜头），Z向的精度可高达0.1nm?？刹飧骼啻映饣酱植凇⒌头瓷渎实礁叻瓷渎实奈锾灞砻?，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

SuperViewW1光学三维3D表面轮廓测量仪在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。其重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。

SuperViewW1光学三维轮廓仪检测仪器对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1三维白光轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?？椤?D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1三维光学轮廓仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。