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中图仪器SuperViewW0.1nm级分辨率光学3D表面轮廓仪形貌重复性低至0.1nm，粗糙度RMS重复性0.005nm，台阶测量准确度仅0.3%，搭配气浮隔振底座与0.1nm分辨率环境噪声评价，复杂车间环境也能稳定输出精准数据。

中图仪器白光干涉3D表面轮廓仪广泛应用于精密制造、电子半导体、汽车零部件、新材料、医疗器械等领域，对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器光学表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。

SuperViewW光学轮廓三维形貌仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。

SuperViewW光学3D表面形貌量测轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

中图仪器微观几何光学3D轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。