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中图仪器3d光学轮廓仪高精度测量仪在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperVirewW1光学3d表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图SuperViewW1三维光学表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。有非接触式无损检测，一键分析、快速高效的优点。

光学3D表面轮廓测量仪，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。 非接触式无损检测，一键分析、快速高效

中图仪器3d光学轮廓仪国内品牌的重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。