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SuperViewW高精度光学3D轮廓测量仪实现各种精密器件及材料表面的亚纳米级测量。它能以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。
SuperViewW光学3D轮廓仪检测仪以白光干涉技术为原理,针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,其复合型EPSI重建算法解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。
SuperViewW光学非接触式粗糙度3D轮廓仪采用白光干涉技术,结合具有抗噪性能的3D重建算法,具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
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